高纯特种气体工程实验室通过验收

魏清源 科技日报记者 刘廉君

建设过程中，获得稀有气体方面省级科学技术二等奖1项，申请及获得授权发明专利10项、实用新型专利11项，主持或参与编制国标、国军标4项，开发新产品12种。4月12日，经过为期两年建设的“高纯特种气体工程实验室”通过河北省发改委验收组验收。

此次通过验收的实验室由河钢集团与中国航天科技集团502所联合建设，瞄准航天级超高纯稀有气体发展需求，在制取过程中突破了敏感杂质控制、钢瓶内壁处理、分析检测方法等关键技术，成功研制出6N级航天氙、航天氦。在电子芯片用特种气体方面，自主研发了一套全自动配气装置，并利用河钢集团旗下邯钢自产的高纯稀有气体，成功配制出2种电子级混合气，填补国内空白。

该实验室是河北省首家依托于高纯稀有气体产业，开展航天级稀有气体研制、电子芯片用特种气体配制、同位素提取技术研究及稀有气体分离设备关键部件研制的技术平台。实验室的建立，将为提高河北省稀有气体产业自主创新能力和产业核心竞争力，突破稀有气体产业结构调整和关键技术装备制约提供有力支撑。